TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Prämassing, T.
A1  - Beckers, L.
A1  - Zander, W.
T1  - Ein langzeitstabiler pH-Sensor auf Siliziumbasis hergestellt in Dünnschichttechnik mittels Laserablation
T2  - Chemie- und Biosensoren : aktuelle Anwendungen und Entwicklungstrends / 3. Dresdner Sensor-Symposium, 8. - 10. Dezember 1997, Dresden-Radebeul. J. P. Baselt ... (Hg.)
Y1  - 1998
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/1698
SN  - 3-933168-03-1
N1  - Serie Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 5
SP  - 99
EP  - 102
PB  - Dresden Univ. Press
CY  - Dresden ; München
ER  -