@article{SchoeningYoshinobuSchubertetal.2006,
  author    = {Michael Josef Sch{\"o}ning and T. Yoshinobu and J. Schubert and A. Steffen and H. L{\"u}th},
  title     = {Innovative Schichttechniken und Messprinzipien f{\"u}r kapazitive Feldeffektsensoren},
  journal   = {Sensoren und Mess-Systeme : Vortr{\"a}ge der 11. ITG/GMA-Fachtagung vom 11. bis 12. M{\"a}rz 2002 in Ludwigsburg / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ... Wiss. Tagungsleitung: C. D. Kohl ....},
  pages     = {151 -- 154},
  year      = {2006},
}