@article{Kaemper2002,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Die Mikroaktorik wird erwachsen},
  series = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)},
  journal   = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)},
  pages     = {4 -- 5},
  year      = {2002},
  language  = {de}
}
@article{Kaemper1994,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.},
  series = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International},
  journal   = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International},
  address   = {Stuttgart},
  pages     = {getr. Z{\"a}hlung},
  year      = {1994},
  language  = {de}
}
@article{Kaemper1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.},
  series = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996},
  journal   = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996},
  pages     = {121 -- 126},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@misc{Kaemper2007,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1},
  year      = {2007},
  abstract  = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einf{\"u}hrung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 D{\"u}nnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 {\"A}tztechnologie 7 „Bulk Micromachining" 8 „Surface Micromachining" 9 Trocken{\"a}tzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}
@article{KaemperBergLehretal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Lehr, H. and Ehrfeld, W.},
  title     = {Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.},
  series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  journal   = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperBergWolfetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Wolf, A. and Lehr, H.},
  title     = {Entwicklung von Linsenhaltern f{\"u}r ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.},
  series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  journal   = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperEhrfeldLehretal.1993,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Ehrfeld, W. and Lehr, H. and Michel, F.},
  title     = {LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.},
  series = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5},
  journal   = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5},
  isbn      = {0931-2714},
  pages     = {LXIX -- LXXI},
  year      = {1993},
  language  = {de}
}
@article{KaemperHagemannEhrfeldetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Ehrfeld, W. and Lehr, H.},
  title     = {Einsatz der Finite-Elemente-Methode f{\"u}r die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten f{\"u}r Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.},
  journal   = {Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten f{\"u}r Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.},
  publisher = {C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996},
  address   = {Paderborn},
  pages     = {225 S. : graph. Darst.},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperHagemannEhrfeldetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Ehrfeld, W. and Lehr, H.},
  title     = {Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, M{\"u}nchen, 12. M{\"a}rz. 1996},
  journal   = {Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, M{\"u}nchen, 12. M{\"a}rz. 1996},
  pages     = {1 -- 13},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperLacherAbrahametal.1995,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lacher, M. and Abraham, M. and Ehrfeld, W.},
  title     = {Mikrosysteme f{\"u}r die Luft- und Raumfahrt. Lacher, M.; Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Picard, A.; Zetterer, T.},
  series = {Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schl{\"u}sseltechnologien f{\"u}r das 21. Jahrhundert"},
  journal   = {Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schl{\"u}sseltechnologien f{\"u}r das 21. Jahrhundert"},
  publisher = {Deutsche Gesellschaft f{\"u}r Luft- und Raumfahrt},
  address   = {Lilienthal-Oberth},
  pages     = {415 -- 423},
  year      = {1995},
  language  = {de}
}