TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlef (u.a.) T1 - The Virtual Cleanroom – a new tool in teaching MST process technologies JF - mst news International newsletter on micro - nano Integration (2003) Y1 - 2003 SN - 0948-3128 SP - 35 EP - 36 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlef (u.a.) T1 - Neue Medien für die praktische MST Ausbildung JF - Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002) Y1 - 2002 SP - 14 EP - 15 ER -