Funktionsprüfung und Charakterisierung von ionensensitiven Feldeffekttransistoren (ISFETs) auf Waferebene mittels Mikrotropfenzelle für den zukünftigen Einsatz in der Sensorproduktion

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Metadaten
Author:Joachim P. Kloock, Arshak PoghossianORCiD, K. Schumacher, C. Rosenkranz, J. W. Schultze, Mattea Müller-Veggian, Michael Josef SchöningORCiD
ISBN:3-8007-2939-3
Parent Title (German):Sensoren und Messsysteme 2006 : Vorträge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14. März 2006 in Freiburg/Breisgau / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA). Wiss. Tagungsleitung: L. M. Reindl
Publisher:VDE-Verl.
Place of publication:Berlin
Document Type:Article
Language:German
Year of Completion:2006
Date of the Publication (Server):2012/12/18
Length:630 S. : Ill., graph. Darst.
First Page:257
Last Page:260
Note:
Fachtagung Sensoren und Messsysteme <13, 2006, Freiburg, Breisgau>
Institutes:FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien