Fabrication of thin-film LAPS with amorphous silicon

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Metadaten
Author:T. Yoshinobu, Michael Josef SchöningORCiD, F. Finger, W. Moritz, H. Iwasaki
ISBN:1424-8220
Parent Title (English):Sensors. 4 (2004), H. 10
Document Type:Article
Language:English
Year of Completion:2004
Date of the Publication (Server):2012/12/18
First Page:163
Last Page:169
Link:http://www.mdpi.org/sensors/papers/s41000163.pdf
Zugriffsart:weltweit
Institutes:FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien