Innovative Schichttechniken und Messprinzipien für kapazitive Feldeffektsensoren
| Author: | Michael Josef SchöningORCiD, T. Yoshinobu, J. Schubert, A. Steffen, H. Lüth |
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| ISBN: | 3-8007-2675-0 |
| Parent Title (German): | Sensoren und Mess-Systeme : Vorträge der 11. ITG/GMA-Fachtagung vom 11. bis 12. März 2002 in Ludwigsburg / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ... Wiss. Tagungsleitung: C. D. Kohl .... |
| Publisher: | VDE-Verl. |
| Place of publication: | Berlin [u.a.] |
| Document Type: | Article |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2002 |
| Date of the Publication (Server): | 2012/12/18 |
| Length: | 421 S : Ill., graph. Darst. |
| First Page: | 151 |
| Last Page: | 154 |
| Note: | Sensoren und Mess-Systeme 2002 |
| Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
