Dünne Al2O3-Schichten für pH-Sensoren auf Halbleiterbasis mittels Laserablation

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Metadaten
Author:Michael Josef SchöningORCiD, A. Schaub, L. Beckers, W. Zander
ISBN:3-18-091255-3
Parent Title (German):Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. März 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.
Publisher:VDI-Verl.
Place of publication:Düsseldorf
Document Type:Article
Language:German
Year of Completion:1996
Date of the Publication (Server):2012/12/18
Length:624 S. : Ill., graph. Darst.
First Page:381
Last Page:386
Note:
VDI-Berichte; 1255
Institutes:FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik