TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Lüth, H.
A1  - Thust, M.
T1  - Neue Ansätze für Chemo- und Biosensoren in Siliziumtechnik
T2  - Physikalische Blätter. 53 (1997), H. 5
Y1  - 1997
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/1884
SN  - 0031-9279
SP  - 423
EP  - 427
ER  -