@article{Kaemper2007,
  author    = {Klaus-Peter K{\"a}mper},
  title     = {Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.},
  journal   = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International},
  year      = {2007},
}