@article{SchoeningSchaubBeckersetal.2006,
  author    = {Michael Josef Sch{\"o}ning and A. Schaub and L. Beckers and W. Zander},
  title     = {D{\"u}nne Al2O3-Schichten f{\"u}r pH-Sensoren auf Halbleiterbasis mittels Laserablation},
  journal   = {Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. M{\"a}rz 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.},
  pages     = {381 -- 386},
  year      = {2006},
}