@article{SimonisLuethWangetal.2006,
  author    = {A. Simonis and H. L{\"u}th and J. Wang and Michael Josef Sch{\"o}ning},
  title     = {Miniaturisierte Referenzelektroden in Siliziumtechnologie f{\"u}r elektrochemische Sensoranwendungen},
  journal   = {Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. M{\"a}rz 2004 / VDI-VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik},
  pages     = {847 -- 850},
  year      = {2006},
}