@article{PoghossianWagnerSchoening2011, author = {Arshak Poghossian and H. Wagner and Michael Josef Sch{\"o}ning}, title = {Automatisiertes ā€˛wafer level"-Testsystem zur Charakterisierung von siliziumbasierten Chemo- und Biosensoren}, journal = {Sensoren und Messsysteme 2010 [Elektronische Ressource] : Vortr{\"a}ge der 15. ITG/GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in N{\"u}rnberg / Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG); VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)}, pages = {89 -- 92}, year = {2011}, }