TY  - JOUR
A1  - Poghossian, Arshak
A1  - Wagner, H.
A1  - Schöning, Michael Josef
T1  - Automatisiertes „wafer level“-Testsystem zur Charakterisierung von siliziumbasierten Chemo- und Biosensoren
T2  - Sensoren und Messsysteme 2010 [Elektronische Ressource] : Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in Nürnberg / Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG); VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)
Y1  - 2010
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/4383
SN  - 978-3-8007-3260-9
N1  - Fachtagung Sensoren und Messsysteme 15, 2010, Nürnberg ; Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
SP  - 89
EP  - 92
PB  - VDE Verlag
CY  - Berlin
ER  -