TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Thust, M.
A1  - Steffen, A.
A1  - Müller-Veggian, Mattea
T1  - Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung
T2  - ITG-Fachbericht. 148 (1998)
Y1  - 1998
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/1889
SN  - 0341-0196
SP  - 257
EP  - 263
ER  -