TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.
T2  - Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International
Y1  - 1994
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/2871
N1  - MicroEngineering ; (1, 1994, Stuttgart)
CY  - Stuttgart
ER  -