@article{Kaemper2007, author = {Klaus-Peter K{\"a}mper}, title = {Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.}, journal = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996}, pages = {121 -- 126}, year = {2007}, }