TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
T2  - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996
Y1  - 1996
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/2884
N1  - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41
SP  - 121
EP  - 126
ER  -