@article{StarkeZackFriedrichetal.2005,
  author    = {G{\"u}nther Starke and Y. Zack and A.-P. Friedrich and E. Drichel},
  title     = {Simulationswerkzeug bei der Herstellung von mikroelektronischen Komponenten. Schnelles Beurteilen von Alternativen in der Produktionsplanung und im Fertigungsdesign},
  journal   = {FB/IE - Zeitschrift f{\"u}r Unternehmensentwicklung und Industrial Engineering. 52 (2003), H. 5},
  pages     = {204 -- 212},
  year      = {2005},
}