TY  - JOUR
A1  - Poghossian, Arshak
A1  - Wagner, Holger
A1  - Schöning, Michael Josef
T1  - Automatisiertes „wafer level“-Testsystem zur Charakterisierung von siliziumbasierten Chemo- und Biosensoren
T2  - Tagungsband: Sensoren und Messsysteme 2010
N2  - Es wurde ein automatisiertes, computerunterstütztes Testsystem für die Funktionsprüfung und Charakterisierung von (bio-)chemischen Sensoren auf Waferebene entwickelt und in einen konventionellen Spitzenmessplatz integriert. Das System ermöglicht die Charakterisierung und Identifizierung „funktionstauglicher“ Sensoren bereits auf Waferebene zwischen den einzelnen Herstellungsschritten, wodurch weitere, bisher übliche Verarbeitungsschritte wie das Fixieren, Bonden und Verkapseln für die defekten oder nicht funktionstauglichen Sensorstrukturen entfällt. Außerdem bietet eine speziell entworfene miniaturisierte Durchflussmesszelle die Möglichkeit, bereits auf Waferlevel die Sensitivität, Drift, Hysterese und Ansprechzeit der (bio-)chemischen Sensoren zu charakterisieren. Das System wurde exemplarisch mit kapazitiven, pH-sensitiven EIS- (Elektrolyt-Isolator-Silizium) Strukturen und ISFET- (ionensensitiver Feldeffekttransistor) Strukturen mit verschiedenen Geometrien und Gate-Layouts getestet.
Y1  - 2011
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/4383
SN  - 978-3-8007-3260-9
N1  - Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung, 18.05.2010 - 19.05.2010 in Nürnberg
SP  - 89
EP  - 92
PB  - VDE Verlag
CY  - Berlin
ER  -