TY - JOUR A1 - Heuermann, Holger A1 - Schiek, Burkhard T1 - Neue Kalibrierverfahren fuer on-wafer-Messungen T2 - Kleinheubacher Berichte : Vorträge und Berichte der gemeinsamen Tagung des U.R.S.I.-Landesausschusses in der Bundesrepublik Deutschland / Hrsg.: Deutsche Telekom AG. 37. 1993 (1993) Y1 - 1993 UR - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/452 SP - 195 EP - 204 ER -