@article{HagemannGeittnerSchnittkeretal.2006,
  author    = {Hans-J{\"u}rgen Hagemann and P. Geittner and W. Schnittker and J. Warnier},
  title     = {Abscheidegeschwindigkeiten und Prozeßausbeuten im PCVD-Verfahren. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Schnittker, W.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H.},
  journal   = {Philips - Unsere Forschung in Deutschland / Hrsg.: Philips Forschungslaboratorium GmbH Aachen und Hamburg. 4 (1989)},
  pages     = {140 -- 143},
  year      = {2006},
}