TY  - JOUR
A1  - Hagemann, Hans-Jürgen
A1  - Geittner, P.
A1  - Schnittker, W.
A1  - Warnier, J.
T1  - Abscheidegeschwindigkeiten und Prozeßausbeuten im PCVD-Verfahren. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Schnittker, W.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H.
T2  - Philips - Unsere Forschung in Deutschland / Hrsg.: Philips Forschungslaboratorium GmbH Aachen und Hamburg. 4 (1989)
Y1  - 1989
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/2095
SP  - 140
EP  - 143
ER  -