TY - JOUR A1 - Kloock, Joachim P. A1 - Mourzina, Y. A1 - Schubert, J. A1 - Ermelenko, Y. A1 - Schöning, Michael Josef T1 - Pulsed laser deposition: A tool for fabricating thin-film microsensors T2 - Biomedizinische Technik. 49 (2004), H. 2 Y1 - 2004 UR - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/1741 SN - 0932-4666 SP - 1032 EP - 1033 ER -