TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Hagemann, B.
T1  - Entwicklung von Mikroantrieben am Institut für Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
T2  - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM
Y1  - 1996
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/2882
SN  - 3-18-091269-3
N1  - VDI-Berichte ; 1269
SP  - 77
PB  - VDI-Verl.
CY  - Düsseldorf
ER  -