@article{KaemperEhrfeldLehretal.2007,
  author    = {Klaus-Peter K{\"a}mper and W. Ehrfeld and H. Lehr and F. Michel},
  title     = {LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.},
  journal   = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5},
  pages     = {LXIX -- LXXI},
  year      = {2007},
}