TY - JOUR A1 - Mohnke, Andreas T1 - Kathodenzerstäubung von Zinkoxid für die Akustoelektronik T2 - Universität : Wissenschaftliche Beiträge : WB (1985) Y1 - 1985 UR - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/2521 SN - 0440-1298 SP - 94 EP - 95 ER -