@inproceedings{PlatenPoghossianSchoening2015, author = {J. Platen and Arshak Poghossian and Michael Josef Sch{\"o}ning}, title = {Pr{\"a}paration von selbstjustierenden Nanostrukturen mittels Schichtausdehnungstechnik}, booktitle = {Sensoren und Mess-Systeme 2006 : Vortr{\"a}ge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14.3.2006 in Freiburg/Breisgau}, pages = {277 -- 280}, year = {2015}, }