TY  - CONF
A1  - Platen, J.
A1  - Poghossian, Arshak
A1  - Schöning, Michael Josef
T1  - Präparation von selbstjustierenden Nanostrukturen mittels Schichtausdehnungstechnik
T2  - Sensoren und Mess-Systeme 2006 : Vorträge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14.3.2006 in Freiburg/Breisgau
Y1  - 2006
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/6840
SN  - 3-8007-2939-3
SP  - 277
EP  - 280
PB  - VDE Verl.
CY  - Berlin
ER  -