@article{SchoeningPraemassingBeckersetal.2006, author = {Michael Josef Sch{\"o}ning and T. Pr{\"a}massing and L. Beckers and W. Zander}, title = {Ein langzeitstabiler pH-Sensor auf Siliziumbasis hergestellt in D{\"u}nnschichttechnik mittels Laserablation}, journal = {Chemie- und Biosensoren : aktuelle Anwendungen und Entwicklungstrends / 3. Dresdner Sensor-Symposium, 8. - 10. Dezember 1997, Dresden-Radebeul. J. P. Baselt ... (Hg.)}, pages = {99 -- 102}, year = {2006}, }