TY  - BOOK
A1  - Mohnke, Andreas
T1  - Lehr- und Übungsbuch Mikrosystemtechnik : Grundlagen ; mit 24 Tabellen
Y1  - 2005
UR  - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/2444
SN  - 3-446-40007-9
PB  - Fachbuchverl. Leipzig im Carl-Hanser-Verl.
CY  - München
ER  -