TY - JOUR A1 - Helsper, Christoph T1 - Partikelmesstechnik T2 - Reinraumtechnik , Hrsg.: Gail, Lothar Y1 - 2002 UR - https://opus.bibliothek.fh-aachen.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/2303 SN - 3-540-66885-3 SP - 57 EP - 82 PB - Springer CY - Berlin [u.a.] ER -