@article{PicardBrillCasseletal.2002,
  author    = {Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine},
  title     = {Neue Medien f{\"u}r die praktische MST-Ausbildung},
  organization    = {FH-Kaiserslautern},
  year      = {2002},
  abstract  = {Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibr{\"u}cken werden zwei neue moderne Anlagen f{\"u}r die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen f{\"u}r Herstellung d{\"u}nner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur f{\"u}r die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}