@incollection{HelsperDressler2012,
  author    = {Helsper, Christoph and Dressler, J{\"o}rg},
  title     = {Partikelmesstechnik},
  series = {Reinraumtechnik},
  volume    = {2012},
  booktitle = {Reinraumtechnik},
  editor    = {Gail, Lothar and Gommel, Udo and Hortig, Hans-Peter},
  edition   = {3},
  publisher = {Springer},
  address   = {Berlin},
  isbn      = {978-3-642-19435-1},
  doi       = {10.1007/978-3-642-19435-1_3},
  pages     = {69 -- 95},
  year      = {2012},
  abstract  = {Der Schutz von Produkten vor der Kontamination durch Partikel gilt als eine zentrale Aufgabe der Reinraumtechnik. Da es dabei um Kontaminationseffekte weit unterhalb der visuellen Wahrnehmbarkeit geht, braucht es leistungsf{\"a}hige Verfahren, um die Messgr{\"o}ße „Partikelkontamination" {\"u}ber den gesamten Bereich, den Anwender fordern, pr{\"a}zise zu bestimmen. Neben der Partikelh{\"a}ufigkeit ist dabei die Gr{\"o}ße der Partikel, die sowohl das Transportverhalten wie auch die m{\"o}gliche Wirkung auf das Produkt beeinflusst, von entscheidender Bedeutung. Ferner kann es f{\"u}r die Ermittlung von Kontaminationsquellen von Interesse sein, die Form und die chemische Natur der Partikel zu bestimmen (z. B. textile Fasern, Metallabrieb, fl{\"u}ssige Tr{\"o}pfchen). Die Partikelh{\"a}ufigkeit wird {\"u}blicherweise als Konzentration, d. h. bezogen auf das analysierte Gasvolumen angegeben. Bei den in reinen Technologien {\"u}blichen niedrigen Konzentrationen dient als H{\"a}ufigkeitsmaß die Partikelanzahlkonzentration, also die Partikelanzahl pro Volumeneinheit des Tr{\"a}germediums.},
  language  = {de}
}