@article{SchoeningSchaubBeckersetal.1996,
  author    = {Sch{\"o}ning, Michael Josef and Schaub, A. and Beckers, L. and Zander, W.},
  title     = {D{\"u}nne Al2O3-Schichten f{\"u}r pH-Sensoren auf Halbleiterbasis mittels Laserablation},
  series = {Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. M{\"a}rz 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.},
  journal   = {Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. M{\"a}rz 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.},
  publisher = {VDI-Verl.},
  address   = {D{\"u}sseldorf},
  isbn      = {3-18-091255-3},
  pages     = {381 -- 386},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}