@article{StarkeZackFriedrichetal.2003,
  author    = {Starke, G{\"u}nther and Zack, Y. and Friedrich, A.-P. and Drichel, E.},
  title     = {Simulationswerkzeug bei der Herstellung von mikroelektronischen Komponenten. Schnelles Beurteilen von Alternativen in der Produktionsplanung und im Fertigungsdesign},
  series = {FB/IE - Zeitschrift f{\"u}r Unternehmensentwicklung und Industrial Engineering. 52 (2003), H. 5},
  journal   = {FB/IE - Zeitschrift f{\"u}r Unternehmensentwicklung und Industrial Engineering. 52 (2003), H. 5},
  isbn      = {1431-2271},
  pages     = {204 -- 212},
  year      = {2003},
  language  = {de}
}