@article{KaemperMertenBrilletal.2003, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine and Brill, Manfred and Picard, Antoni (u.a.)}, title = {Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Information - Communication - Knowledge engineering education today}, series = {Schriftenreihe Ingenieurp{\"a}dagogik : Hochschule f{\"u}r Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49}, journal = {Schriftenreihe Ingenieurp{\"a}dagogik : Hochschule f{\"u}r Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49}, pages = {318 -- 321}, year = {2003}, language = {de} } @article{KaemperMertenBrilletal.2003, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine and Brill, Manfred and Picard, Antoni (u.a.)}, title = {Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Bildungsnetzwerke verbessern die Ausbildung in Hochtechnologien.}, series = {Kooperation und Arbeit in vernetzten Welten : Tagungsband der GFA-Herbstkonferenz 2003, Aachen, 29. September - 01. Oktober 2003 / Holger Luczak (Hrsg.)}, journal = {Kooperation und Arbeit in vernetzten Welten : Tagungsband der GFA-Herbstkonferenz 2003, Aachen, 29. September - 01. Oktober 2003 / Holger Luczak (Hrsg.)}, publisher = {Ergonomia-Verl.}, address = {Stuttgart}, isbn = {3-935089-71-6}, pages = {238 -- 241}, year = {2003}, language = {de} } @inproceedings{MertenKaemperBrilletal.2003, author = {Merten, Sabine and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Brill, Manfred and Picard, Antoni and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus}, title = {Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor}, year = {2003}, abstract = {Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung" ist ein Beispiel f{\"u}r die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchf{\"u}hren.}, subject = {Virtuelle Maschine}, language = {de} } @article{KaemperMertenBrilletal.2003, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine and Brill, Manfred and Cassel, Detlev (u.a.)}, title = {Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW}, series = {Virtuelle Instrumente in der Praxis : Messtechnik, Automatisierung ; Begleitband zum Kongress VIP 2003 / Rahman Jamal ; Hans Jaschinski (Hrsg.)}, journal = {Virtuelle Instrumente in der Praxis : Messtechnik, Automatisierung ; Begleitband zum Kongress VIP 2003 / Rahman Jamal ; Hans Jaschinski (Hrsg.)}, publisher = {H{\"u}thig}, address = {Heidelberg}, isbn = {3-7785-2908-0}, pages = {465 -- 470}, year = {2003}, language = {de} } @inproceedings{MertenKaemperBrilletal.2003, author = {Merten, Sabine and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Brill, Manfred and Picard, Antoni and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus}, title = {Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW}, year = {2003}, abstract = {Eine neue Generation von Praktika an Hochschulen w{\"a}chst heran. Moderne Wege beim Verstehen und Erlernen naturwissenschaftlicher Zusammenh{\"a}nge sowie industrieller Fertigungsprozesse sind gefordert. Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor- Fertigung", entwickelt im Verbundprojekt INGMEDIA an den Fachhochschulen Aachen und Zweibr{\"u}cken, tr{\"a}gt als neuartiges Lern- und Lehrmodul dieser Forderung Rechnung. Die Studierenden lernen einen vollst{\"a}ndigen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen, in LabVIEW programmierten Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Reinraum durchf{\"u}hren.}, subject = {LabVIEW}, language = {de} } @misc{Kaemper2007, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1}, year = {2007}, abstract = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einf{\"u}hrung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 D{\"u}nnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 {\"A}tztechnologie 7 „Bulk Micromachining" 8 „Surface Micromachining" 9 Trocken{\"a}tzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik}, subject = {Mikrosystemtechnik}, language = {de} } @article{KaemperMertenBrilletal.2005, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine and Brill, Manfred and Picard, Antoni}, title = {Praxisorientierte Ingenieurausbildung durch multimedial unterst{\"u}tzte Laborkurse. Merten, Sabine ; K{\"a}mper, Klaus-Peter ; Brill, Manfred ; Picard, Antoni}, series = {Online-P{\"a}dagogik. Bd. 3 Referenzmodelle und Praxisbeispiele / hrsg. von Burkhard Lehmann ...}, journal = {Online-P{\"a}dagogik. Bd. 3 Referenzmodelle und Praxisbeispiele / hrsg. von Burkhard Lehmann ...}, publisher = {Schneider-Verl. Hohengehren}, address = {Baltmannsweiler}, isbn = {3-89676-987-1}, pages = {278 S. : Ill., graph. Darst.}, year = {2005}, language = {de} } @article{PicardBrillCasseletal.2002, author = {Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine}, title = {Neue Medien f{\"u}r die praktische MST-Ausbildung}, organization = {FH-Kaiserslautern}, year = {2002}, abstract = {Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibr{\"u}cken werden zwei neue moderne Anlagen f{\"u}r die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen f{\"u}r Herstellung d{\"u}nner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur f{\"u}r die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.}, subject = {Mikrosystemtechnik}, language = {de} } @article{KaemperPicardBrilletal.2002, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlef (u.a.)}, title = {Neue Medien f{\"u}r die praktische MST Ausbildung}, series = {Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002)}, journal = {Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002)}, pages = {14 -- 15}, year = {2002}, language = {de} } @article{KaemperLacherAbrahametal.1995, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lacher, M. and Abraham, M. and Ehrfeld, W.}, title = {Mikrosysteme f{\"u}r die Luft- und Raumfahrt. Lacher, M.; Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Picard, A.; Zetterer, T.}, series = {Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schl{\"u}sseltechnologien f{\"u}r das 21. Jahrhundert"}, journal = {Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schl{\"u}sseltechnologien f{\"u}r das 21. Jahrhundert"}, publisher = {Deutsche Gesellschaft f{\"u}r Luft- und Raumfahrt}, address = {Lilienthal-Oberth}, pages = {415 -- 423}, year = {1995}, language = {de} } @article{Kaemper1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.}, series = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996}, journal = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996}, pages = {121 -- 126}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperEhrfeldLehretal.1993, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Ehrfeld, W. and Lehr, H. and Michel, F.}, title = {LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.}, series = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5}, journal = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5}, isbn = {0931-2714}, pages = {LXIX -- LXXI}, year = {1993}, language = {de} } @article{KaemperPicardSchuetze2007, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, Antoni and Sch{\"u}tze, Andreas}, title = {K{\"o}nnen Studierende einen piezoresistiven Drucksensor in einer Woche selbst{\"a}ndig fertigen?}, series = {Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsf{\"o}rderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anl{\"a}ßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007]}, journal = {Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsf{\"o}rderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anl{\"a}ßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007]}, publisher = {AWNET}, address = {Berlin}, isbn = {978-3-89750-148-5}, pages = {26 -- 35}, year = {2007}, language = {de} } @article{KaemperThuerigenEhrfeldetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Th{\"u}rigen, C. and Ehrfeld, W. and Hagemann, B.}, title = {Gesichtspunkte beim Miniaturisieren von Umlaufr{\"a}dergetrieben. Th{\"u}rigen, C.; Ehrfeld, W. ; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.}, series = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM}, journal = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM}, publisher = {VDI-Verl.}, address = {D{\"u}sseldorf}, isbn = {3-18-091269-3}, pages = {235}, year = {1996}, language = {de} } @article{Kaemper1994, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.}, series = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International}, journal = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International}, address = {Stuttgart}, pages = {getr. Z{\"a}hlung}, year = {1994}, language = {de} } @article{KaemperBergLehretal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Lehr, H. and Ehrfeld, W.}, title = {Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.}, series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart}, journal = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperLehrEhrfeldetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Ehrfeld, W. and Hagemann, B.}, title = {Entwicklung von Mikroantrieben am Institut f{\"u}r Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.}, series = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM}, journal = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM}, publisher = {VDI-Verl.}, address = {D{\"u}sseldorf}, isbn = {3-18-091269-3}, pages = {77}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperBergWolfetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Wolf, A. and Lehr, H.}, title = {Entwicklung von Linsenhaltern f{\"u}r ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.}, series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart}, journal = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperLehrAbeletal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Abel, S. and Ehrfeld, W.}, title = {Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.}, series = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996}, journal = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996}, pages = {158 -- 163}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperHagemannEhrfeldetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Ehrfeld, W. and Lehr, H.}, title = {Einsatz der Finite-Elemente-Methode f{\"u}r die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.}, series = {Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten f{\"u}r Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.}, journal = {Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten f{\"u}r Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.}, publisher = {C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996}, address = {Paderborn}, pages = {225 S. : graph. Darst.}, year = {1996}, language = {de} } @article{Kaemper2002, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Die Mikroaktorik wird erwachsen}, series = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)}, journal = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)}, pages = {4 -- 5}, year = {2002}, language = {de} } @article{KaemperPicardSchuetze2005, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, A. and Sch{\"u}tze, A.}, title = {Die Ausbildungsfoundry pro-mst und das virtuelle Technologielabor: Ein Konzept f{\"u}r eine exzellente praktische MST-Ausbildung in einem modernen Reinraum zu niedrigen Gesamtkosten. Picard, A.; K{\"a}mper, K.-P.; Sch{\"u}tze, A.}, series = {Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium f{\"u}r Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle}, journal = {Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium f{\"u}r Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle}, publisher = {VDE-Verl.}, address = {Berlin}, isbn = {3-8007-2926-1}, pages = {127}, year = {2005}, language = {de} } @article{KaemperHagemannEhrfeldetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Ehrfeld, W. and Lehr, H.}, title = {Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.}, series = {Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, M{\"u}nchen, 12. M{\"a}rz. 1996}, journal = {Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, M{\"u}nchen, 12. M{\"a}rz. 1996}, pages = {1 -- 13}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperSchulzArnoldetal.1995, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Schulz, C. and Arnold, J. and Detter, H.}, title = {Anwendungen der LIGA-Technik f{\"u}r medizinische Diagnose- und Therapiesysteme. Schulz, C.; Arnold, J.; Detter, H.; D{\"o}pper, J.; Ehrfeld, W., Erbel, R.; K{\"a}mper, K.-P.; Koch, L.; Lehr, H.; Roth, T.}, series = {Elektrotechnik und Informationstechnik. 112 (1995), H. 9}, journal = {Elektrotechnik und Informationstechnik. 112 (1995), H. 9}, isbn = {0932-383X}, pages = {493}, year = {1995}, language = {de} }