@book{Mohnke2005,
  author    = {Mohnke, Andreas},
  title     = {Lehr- und {\"U}bungsbuch Mikrosystemtechnik : Grundlagen ; mit 24 Tabellen},
  publisher = {Fachbuchverl. Leipzig im Carl-Hanser-Verl.},
  address   = {M{\"u}nchen},
  isbn      = {3-446-40007-9},
  pages     = {173 S. : graph. Darst. + 1 CD-ROM},
  year      = {2005},
  language  = {de}
}