@article{KaemperPicardSchuetze2005, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, A. and Sch{\"u}tze, A.}, title = {Die Ausbildungsfoundry pro-mst und das virtuelle Technologielabor: Ein Konzept f{\"u}r eine exzellente praktische MST-Ausbildung in einem modernen Reinraum zu niedrigen Gesamtkosten. Picard, A.; K{\"a}mper, K.-P.; Sch{\"u}tze, A.}, series = {Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium f{\"u}r Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle}, journal = {Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium f{\"u}r Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle}, publisher = {VDE-Verl.}, address = {Berlin}, isbn = {3-8007-2926-1}, pages = {127}, year = {2005}, language = {de} } @article{Kaemper2002, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Die Mikroaktorik wird erwachsen}, series = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)}, journal = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)}, pages = {4 -- 5}, year = {2002}, language = {de} } @article{Kaemper2003, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Education and Training in MST. K{\"a}mper, K.-P.; Picard, A.; Brill, M.; Cassel, D.; Jentsch, A.; Merten, S.; Rollwa, M.}, series = {Mst-News (2003)}, journal = {Mst-News (2003)}, isbn = {0948-3128}, pages = {35}, year = {2003}, language = {en} } @article{KaemperSchmittGuentherodt1987, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Schmitt, W. and G{\"u}ntherodt, G.}, title = {Effect of adsorbates on the spin-polarized photoemission of itinerant ferromagnets. Schmitt, W.; K{\"a}mper, K.-P.; G{\"u}ntherodt, G.}, series = {Physical Review B. 36 (1987), H. 7}, journal = {Physical Review B. 36 (1987), H. 7}, isbn = {1095-3795}, pages = {3763 -- 3768}, year = {1987}, language = {en} } @article{KaemperHagemannEhrfeldetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Ehrfeld, W. and Lehr, H.}, title = {Einsatz der Finite-Elemente-Methode f{\"u}r die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.}, series = {Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten f{\"u}r Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.}, journal = {Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten f{\"u}r Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.}, publisher = {C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996}, address = {Paderborn}, pages = {225 S. : graph. Darst.}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperEhrfeldHagemannetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Ehrfeld, W. and Hagemann, B. and Lehr, H.}, title = {Electromagnetic permanent magnet micromotor with integrated micro gear box. K{\"a}mper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Lehr, H.; Michel, F.; Schirling, A.; Th{\"u}rigen, C.; Wittig, T.}, series = {Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH}, journal = {Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH}, address = {Bremen}, pages = {429}, year = {1996}, language = {en} } @article{KaemperLehrAbeletal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Abel, S. and Ehrfeld, W.}, title = {Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.}, series = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996}, journal = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996}, pages = {158 -- 163}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperBergWolfetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Wolf, A. and Lehr, H.}, title = {Entwicklung von Linsenhaltern f{\"u}r ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.}, series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart}, journal = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperLehrEhrfeldetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Ehrfeld, W. and Hagemann, B.}, title = {Entwicklung von Mikroantrieben am Institut f{\"u}r Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.}, series = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM}, journal = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM}, publisher = {VDI-Verl.}, address = {D{\"u}sseldorf}, isbn = {3-18-091269-3}, pages = {77}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperBergLehretal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Lehr, H. and Ehrfeld, W.}, title = {Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.}, series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart}, journal = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart}, year = {1996}, language = {de} } @article{Kaemper1994, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.}, series = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International}, journal = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International}, address = {Stuttgart}, pages = {getr. Z{\"a}hlung}, year = {1994}, language = {de} } @article{KaemperThuerigenEhrfeldetal.1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Th{\"u}rigen, C. and Ehrfeld, W. and Hagemann, B.}, title = {Gesichtspunkte beim Miniaturisieren von Umlaufr{\"a}dergetrieben. Th{\"u}rigen, C.; Ehrfeld, W. ; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.}, series = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM}, journal = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM}, publisher = {VDI-Verl.}, address = {D{\"u}sseldorf}, isbn = {3-18-091269-3}, pages = {235}, year = {1996}, language = {de} } @article{KaemperPicardSchuetze2007, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, Antoni and Sch{\"u}tze, Andreas}, title = {K{\"o}nnen Studierende einen piezoresistiven Drucksensor in einer Woche selbst{\"a}ndig fertigen?}, series = {Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsf{\"o}rderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anl{\"a}ßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007]}, journal = {Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsf{\"o}rderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anl{\"a}ßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007]}, publisher = {AWNET}, address = {Berlin}, isbn = {978-3-89750-148-5}, pages = {26 -- 35}, year = {2007}, language = {de} } @misc{Kaemper2007, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Lecture notes Sensors and Actuators}, year = {2007}, abstract = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Wintersemester 2007/2008. Version vom 30.08.2007. 472 Seiten (pdf-Format)}, subject = {Sensor}, language = {en} } @misc{Kaemper2008, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Lecture notes Sensors and Actuators WS 2008/2009}, year = {2008}, abstract = {Password necessarily. Access only for Students by Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Winter semester 2008/2009. 488 pages (pdf) Contents 1. Introduction 2. Introduction to Sensors 3. Introduction to Microfabrication 4. Pressure Sensors 5. Acceleration Sensors 6. Angular Rate Sensors 7. Position Sensors 8. Flow Sensors 9. Piezoelectric Actuators 10. Magnetostrictive Actuators 11. Actuators based on Shape Memory Alloys 12. Actuators based on Electrorheological Fluids 13. Actuators based on Magnetorheological Fluids 14. Index}, subject = {Sensor}, language = {en} } @article{KaemperLehrEhrfeldetal.1994, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Ehrfeld, W. and Michel, F.}, title = {LIGA Components for the Construction of Milliactuators. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Schmidt, M.}, series = {1994 IEEE Symposium on Emerging Technologies \& Factory Automation : novel disciplines for the next century ; proceedings, November 6 - 10, 1994, Tokyo, Japan / ETFA '94. Hiroyuki Fujita [chairman] ... Sponsored by: Institute of Industrial Science, SEIKEN}, journal = {1994 IEEE Symposium on Emerging Technologies \& Factory Automation : novel disciplines for the next century ; proceedings, November 6 - 10, 1994, Tokyo, Japan / ETFA '94. Hiroyuki Fujita [chairman] ... Sponsored by: Institute of Industrial Science, SEIKEN}, address = {Piscataway, N.J.}, isbn = {0780321146}, pages = {43 -- 47}, year = {1994}, language = {en} } @article{KaemperHagemannLehretal.1995, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Lehr, H. and Michel, F.}, title = {LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.}, series = {LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed.}, journal = {LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed.}, publisher = {FSRM}, address = {Neuchatel}, pages = {100 -- 110}, year = {1995}, language = {en} } @article{KaemperSchulzEhrfeldetal.1994, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Schulz, C. and Ehrfeld, W. and Erbel, R.}, title = {LIGA Fabricated Microsystems for Medical and Related Applications. Schulz, C.; Ehrfeld, W.; Erbel, R.; K{\"a}mper, K.-P.; Koch, L.; Lehr, H.; Roth, T.}, series = {3-Day Course on Microengineering in Medicine and Biology and its Applications to Minimally Invasive Techniques for Therapy and Medical Diagnosis : EURO-BME 94; October 5, 6, and 7, 1994, Swiss Federal Institute of Technology, EPFL, Lausanne, Switzerland / [the 1994 EURO-BME Microengineering in Medicine and Biology Training Course. Staff: Christian D. Depeursinge ...]}, journal = {3-Day Course on Microengineering in Medicine and Biology and its Applications to Minimally Invasive Techniques for Therapy and Medical Diagnosis : EURO-BME 94; October 5, 6, and 7, 1994, Swiss Federal Institute of Technology, EPFL, Lausanne, Switzerland / [the 1994 EURO-BME Microengineering in Medicine and Biology Training Course. Staff: Christian D. Depeursinge ...]}, publisher = {REPRO EPFL}, address = {Lausanne}, pages = {Getr. Z{\"a}hlung : Ill., graph. Darst.}, year = {1994}, language = {en} } @article{KaemperEhrfeldLehretal.1993, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Ehrfeld, W. and Lehr, H. and Michel, F.}, title = {LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.}, series = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5}, journal = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5}, isbn = {0931-2714}, pages = {LXIX -- LXXI}, year = {1993}, language = {de} } @article{KaemperPappasMilleretal.1991, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Pappas, D. P. and Miller, B. P. and Hopster, H.}, title = {Magnetism of ultrathin films of Fe on Cu(100). Pappas, D. P; K{\"a}mper, K.-P.; Miller, B. P.; Hopster, H.; Fowler, D. E.; Luntz, A. C.; Brundle, C.R.; Shen, Z.-X.}, series = {Journal of Applied Physics. 69 (1991), H. 8}, journal = {Journal of Applied Physics. 69 (1991), H. 8}, isbn = {1089-7550}, pages = {5209 -- 521}, year = {1991}, language = {en} }