@article{Kaemper1994,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.},
  series = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International},
  journal   = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International},
  address   = {Stuttgart},
  pages     = {getr. Z{\"a}hlung},
  year      = {1994},
  language  = {de}
}
@article{KaemperEhrfeldLehretal.1993,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Ehrfeld, W. and Lehr, H. and Michel, F.},
  title     = {LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.},
  series = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5},
  journal   = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5},
  isbn      = {0931-2714},
  pages     = {LXIX -- LXXI},
  year      = {1993},
  language  = {de}
}
@article{KaemperPicardBrilletal.2002,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlef (u.a.)},
  title     = {Neue Medien f{\"u}r die praktische MST Ausbildung},
  series = {Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002)},
  journal   = {Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002)},
  pages     = {14 -- 15},
  year      = {2002},
  language  = {de}
}
@article{Kaemper2002,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Die Mikroaktorik wird erwachsen},
  series = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)},
  journal   = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)},
  pages     = {4 -- 5},
  year      = {2002},
  language  = {de}
}
@article{KaemperMertenBrilletal.2003,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine and Brill, Manfred and Picard, Antoni (u.a.)},
  title     = {Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Information - Communication - Knowledge engineering education today},
  series = {Schriftenreihe Ingenieurp{\"a}dagogik : Hochschule f{\"u}r Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49},
  journal   = {Schriftenreihe Ingenieurp{\"a}dagogik : Hochschule f{\"u}r Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49},
  pages     = {318 -- 321},
  year      = {2003},
  language  = {de}
}
@article{KaemperMertenBrilletal.2003,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine and Brill, Manfred and Picard, Antoni (u.a.)},
  title     = {Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Bildungsnetzwerke verbessern die Ausbildung in Hochtechnologien.},
  series = {Kooperation und Arbeit in vernetzten Welten : Tagungsband der GFA-Herbstkonferenz 2003, Aachen, 29. September - 01. Oktober 2003 / Holger Luczak (Hrsg.)},
  journal   = {Kooperation und Arbeit in vernetzten Welten : Tagungsband der GFA-Herbstkonferenz 2003, Aachen, 29. September - 01. Oktober 2003 / Holger Luczak (Hrsg.)},
  publisher = {Ergonomia-Verl.},
  address   = {Stuttgart},
  isbn      = {3-935089-71-6},
  pages     = {238 -- 241},
  year      = {2003},
  language  = {de}
}
@article{KaemperMertenBrilletal.2003,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine and Brill, Manfred and Cassel, Detlev (u.a.)},
  title     = {Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW},
  series = {Virtuelle Instrumente in der Praxis : Messtechnik, Automatisierung ; Begleitband zum Kongress VIP 2003 / Rahman Jamal ; Hans Jaschinski (Hrsg.)},
  journal   = {Virtuelle Instrumente in der Praxis : Messtechnik, Automatisierung ; Begleitband zum Kongress VIP 2003 / Rahman Jamal ; Hans Jaschinski (Hrsg.)},
  publisher = {H{\"u}thig},
  address   = {Heidelberg},
  isbn      = {3-7785-2908-0},
  pages     = {465 -- 470},
  year      = {2003},
  language  = {de}
}
@misc{Kaemper2007,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1},
  year      = {2007},
  abstract  = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einf{\"u}hrung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 D{\"u}nnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 {\"A}tztechnologie 7 „Bulk Micromachining" 8 „Surface Micromachining" 9 Trocken{\"a}tzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}
@article{PicardBrillCasseletal.2002,
  author    = {Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine},
  title     = {Neue Medien f{\"u}r die praktische MST-Ausbildung},
  organization    = {FH-Kaiserslautern},
  year      = {2002},
  abstract  = {Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibr{\"u}cken werden zwei neue moderne Anlagen f{\"u}r die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen f{\"u}r Herstellung d{\"u}nner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur f{\"u}r die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}
@inproceedings{MertenKaemperBrilletal.2003,
  author    = {Merten, Sabine and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Brill, Manfred and Picard, Antoni and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus},
  title     = {Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor},
  year      = {2003},
  abstract  = {Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung" ist ein Beispiel f{\"u}r die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchf{\"u}hren.},
  subject      = {Virtuelle Maschine},
  language  = {de}
}
@inproceedings{MertenKaemperBrilletal.2003,
  author    = {Merten, Sabine and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Brill, Manfred and Picard, Antoni and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus},
  title     = {Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW},
  year      = {2003},
  abstract  = {Eine neue Generation von Praktika an Hochschulen w{\"a}chst heran. Moderne Wege beim Verstehen und Erlernen naturwissenschaftlicher Zusammenh{\"a}nge sowie industrieller Fertigungsprozesse sind gefordert. Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor- Fertigung", entwickelt im Verbundprojekt INGMEDIA an den Fachhochschulen Aachen und Zweibr{\"u}cken, tr{\"a}gt als neuartiges Lern- und Lehrmodul dieser Forderung Rechnung. Die Studierenden lernen einen vollst{\"a}ndigen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen, in LabVIEW programmierten Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Reinraum durchf{\"u}hren.},
  subject      = {LabVIEW},
  language  = {de}
}