@article{PicardBrillCasseletal.2002,
  author    = {Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine},
  title     = {Neue Medien f{\"u}r die praktische MST-Ausbildung},
  organization    = {FH-Kaiserslautern},
  year      = {2002},
  abstract  = {Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibr{\"u}cken werden zwei neue moderne Anlagen f{\"u}r die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen f{\"u}r Herstellung d{\"u}nner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur f{\"u}r die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}
@inproceedings{MertenKaemperBrilletal.2003,
  author    = {Merten, Sabine and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Brill, Manfred and Picard, Antoni and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus},
  title     = {Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW},
  year      = {2003},
  abstract  = {Eine neue Generation von Praktika an Hochschulen w{\"a}chst heran. Moderne Wege beim Verstehen und Erlernen naturwissenschaftlicher Zusammenh{\"a}nge sowie industrieller Fertigungsprozesse sind gefordert. Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor- Fertigung", entwickelt im Verbundprojekt INGMEDIA an den Fachhochschulen Aachen und Zweibr{\"u}cken, tr{\"a}gt als neuartiges Lern- und Lehrmodul dieser Forderung Rechnung. Die Studierenden lernen einen vollst{\"a}ndigen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen, in LabVIEW programmierten Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Reinraum durchf{\"u}hren.},
  subject      = {LabVIEW},
  language  = {de}
}
@inproceedings{MertenKaemperBrilletal.2003,
  author    = {Merten, Sabine and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Brill, Manfred and Picard, Antoni and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus},
  title     = {Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor},
  year      = {2003},
  abstract  = {Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung" ist ein Beispiel f{\"u}r die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchf{\"u}hren.},
  subject      = {Virtuelle Maschine},
  language  = {de}
}
@misc{Kaemper2007,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1},
  year      = {2007},
  abstract  = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einf{\"u}hrung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 D{\"u}nnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 {\"A}tztechnologie 7 „Bulk Micromachining" 8 „Surface Micromachining" 9 Trocken{\"a}tzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}