@article{KaemperPicardSchuetze2007,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, Antoni and Sch{\"u}tze, Andreas},
  title     = {K{\"o}nnen Studierende einen piezoresistiven Drucksensor in einer Woche selbst{\"a}ndig fertigen?},
  series = {Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsf{\"o}rderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anl{\"a}ßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007]},
  journal   = {Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsf{\"o}rderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anl{\"a}ßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007]},
  publisher = {AWNET},
  address   = {Berlin},
  isbn      = {978-3-89750-148-5},
  pages     = {26 -- 35},
  year      = {2007},
  language  = {de}
}
@misc{Kaemper2007,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Lecture notes Sensors and Actuators},
  year      = {2007},
  abstract  = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Wintersemester 2007/2008. Version vom 30.08.2007. 472 Seiten (pdf-Format)},
  subject      = {Sensor},
  language  = {en}
}
@misc{Kaemper2007,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1},
  year      = {2007},
  abstract  = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einf{\"u}hrung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 D{\"u}nnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 {\"A}tztechnologie 7 „Bulk Micromachining" 8 „Surface Micromachining" 9 Trocken{\"a}tzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}