@article{SchoeningLueth2002,
  author    = {Sch{\"o}ning, Michael Josef and L{\"u}th, H.},
  title     = {Microfabricated semiconductor structures - Advances in (bio-)chemical sensing},
  series = {Coupling of biological and electronic systems : proceedings of the 2nd Caesarium, Bonn, November 1 - 3, 2000 / Karl-Heinz Hoffmann, ed.},
  journal   = {Coupling of biological and electronic systems : proceedings of the 2nd Caesarium, Bonn, November 1 - 3, 2000 / Karl-Heinz Hoffmann, ed.},
  publisher = {Springer},
  address   = {Berlin [u.a.]},
  isbn      = {3-540-43699-5},
  pages     = {79 -- 92},
  year      = {2002},
  language  = {en}
}
@article{PicardBrillCasseletal.2002,
  author    = {Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine},
  title     = {Neue Medien f{\"u}r die praktische MST-Ausbildung},
  organization    = {FH-Kaiserslautern},
  year      = {2002},
  abstract  = {Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibr{\"u}cken werden zwei neue moderne Anlagen f{\"u}r die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen f{\"u}r Herstellung d{\"u}nner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur f{\"u}r die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}