@article{SchoeningYoshinobuSchubertetal.2002,
  author    = {Sch{\"o}ning, Michael Josef and Yoshinobu, T. and Schubert, J. and Steffen, A. and L{\"u}th, H.},
  title     = {Innovative Schichttechniken und Messprinzipien f{\"u}r kapazitive Feldeffektsensoren},
  series = {Sensoren und Mess-Systeme : Vortr{\"a}ge der 11. ITG/GMA-Fachtagung vom 11. bis 12. M{\"a}rz 2002 in Ludwigsburg / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ... Wiss. Tagungsleitung: C. D. Kohl ....},
  journal   = {Sensoren und Mess-Systeme : Vortr{\"a}ge der 11. ITG/GMA-Fachtagung vom 11. bis 12. M{\"a}rz 2002 in Ludwigsburg / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ... Wiss. Tagungsleitung: C. D. Kohl ....},
  publisher = {VDE-Verl.},
  address   = {Berlin [u.a.]},
  isbn      = {3-8007-2675-0},
  pages     = {151 -- 154},
  year      = {2002},
  language  = {de}
}