@article{MuellerVeggianHamacherProticetal.1993,
  author    = {M{\"u}ller-Veggian, Mattea and Hamacher, A. and Protic, D. and Riepe, G.},
  title     = {Doping of germanium by ion implantation},
  series = {Annual report 1992 / Forschungszentrum J{\"u}lich Institut f{\"u}r Kernphysik / Baur, G. (Hrsg.). - (Berichte des Forschungszentrums J{\"u}lich ; 2726)},
  journal   = {Annual report 1992 / Forschungszentrum J{\"u}lich Institut f{\"u}r Kernphysik / Baur, G. (Hrsg.). - (Berichte des Forschungszentrums J{\"u}lich ; 2726)},
  publisher = {Verlag des Forschungszentrums J{\"u}lich},
  address   = {J{\"u}lich},
  pages     = {274},
  year      = {1993},
  language  = {en}
}