@article{KaemperLehrAbeletal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Abel, S. and D{\"o}pper, J.},
  title     = {Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren f{\"u}r Mikroroboter / Lehr, H.; Abel, S.; D{\"o}pper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering},
  journal   = {Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering},
  isbn      = {0277-786X},
  pages     = {202 -- 210},
  year      = {1996},
  language  = {en}
}
@article{KaemperEhrfeldLehretal.1993,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Ehrfeld, W. and Lehr, H. and Michel, F.},
  title     = {LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.},
  series = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5},
  journal   = {Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5},
  isbn      = {0931-2714},
  pages     = {LXIX -- LXXI},
  year      = {1993},
  language  = {de}
}
@article{KaemperLehrAbeletal.1995,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Abel, S. and Ehrfeld, W.},
  title     = {Assembly of Electromagnetic Milliactuators with LIGA Components. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Proceedings 2nd Japan-France Congress on Mechatronics, Takamatsu (Kagawa, Japan) 1.-3. November 1994, 31 (1994)},
  journal   = {Proceedings 2nd Japan-France Congress on Mechatronics, Takamatsu (Kagawa, Japan) 1.-3. November 1994, 31 (1994)},
  publisher = {Fuji Technology Press},
  pages     = {31 -- 31},
  year      = {1995},
  language  = {en}
}
@article{KaemperLehrEhrfeldetal.1994,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Ehrfeld, W. and Michel, F.},
  title     = {LIGA Components for the Construction of Milliactuators. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Schmidt, M.},
  series = {1994 IEEE Symposium on Emerging Technologies \& Factory Automation : novel disciplines for the next century ; proceedings, November 6 - 10, 1994, Tokyo, Japan / ETFA '94. Hiroyuki Fujita [chairman] ... Sponsored by: Institute of Industrial Science, SEIKEN},
  journal   = {1994 IEEE Symposium on Emerging Technologies \& Factory Automation : novel disciplines for the next century ; proceedings, November 6 - 10, 1994, Tokyo, Japan / ETFA '94. Hiroyuki Fujita [chairman] ... Sponsored by: Institute of Industrial Science, SEIKEN},
  address   = {Piscataway, N.J.},
  isbn      = {0780321146},
  pages     = {43 -- 47},
  year      = {1994},
  language  = {en}
}
@article{KaemperHagemannEhrfeldetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Ehrfeld, W. and Lehr, H.},
  title     = {Einsatz der Finite-Elemente-Methode f{\"u}r die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten f{\"u}r Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.},
  journal   = {Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten f{\"u}r Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.},
  publisher = {C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996},
  address   = {Paderborn},
  pages     = {225 S. : graph. Darst.},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperLehrEhrfeldetal.1997,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Ehrfeld, W. and Hagemann, B.},
  title     = {Development of micro and millimotors. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Schulz, C.; Th{\"u}rigen C.},
  series = {Minimally Invasive Therapy and Allied Technologies. 6 (1997)},
  journal   = {Minimally Invasive Therapy and Allied Technologies. 6 (1997)},
  isbn      = {1364-5706},
  year      = {1997},
  language  = {en}
}
@article{KaemperLehrEhrfeldetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Ehrfeld, W. and Hagemann, B.},
  title     = {Entwicklung von Mikroantrieben am Institut f{\"u}r Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM},
  journal   = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM},
  publisher = {VDI-Verl.},
  address   = {D{\"u}sseldorf},
  isbn      = {3-18-091269-3},
  pages     = {77},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperEhrfeldHagemannetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Ehrfeld, W. and Hagemann, B. and Lehr, H.},
  title     = {Electromagnetic permanent magnet micromotor with integrated micro gear box. K{\"a}mper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Lehr, H.; Michel, F.; Schirling, A.; Th{\"u}rigen, C.; Wittig, T.},
  series = {Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH},
  journal   = {Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH},
  address   = {Bremen},
  pages     = {429},
  year      = {1996},
  language  = {en}
}
@article{KaemperBergLehretal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Lehr, H. and Ehrfeld, W.},
  title     = {Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.},
  series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  journal   = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperBergWolfetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Wolf, A. and Lehr, H.},
  title     = {Entwicklung von Linsenhaltern f{\"u}r ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.},
  series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  journal   = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperLehrAbeletal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Abel, S. and Ehrfeld, W.},
  title     = {Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996},
  journal   = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996},
  pages     = {158 -- 163},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperHagemannEhrfeldetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Ehrfeld, W. and Lehr, H.},
  title     = {Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, M{\"u}nchen, 12. M{\"a}rz. 1996},
  journal   = {Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, M{\"u}nchen, 12. M{\"a}rz. 1996},
  pages     = {1 -- 13},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperHagemannLehretal.1995,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Lehr, H. and Michel, F.},
  title     = {LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed.},
  journal   = {LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed.},
  publisher = {FSRM},
  address   = {Neuchatel},
  pages     = {100 -- 110},
  year      = {1995},
  language  = {en}
}