@article{HagemannGeittnerSchnittkeretal.1989,
  author    = {Hagemann, Hans-J{\"u}rgen and Geittner, P. and Schnittker, W. and Warnier, J.},
  title     = {Abscheidegeschwindigkeiten und Prozeßausbeuten im PCVD-Verfahren. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Schnittker, W.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H.},
  series = {Philips - Unsere Forschung in Deutschland / Hrsg.: Philips Forschungslaboratorium GmbH Aachen und Hamburg. 4 (1989)},
  journal   = {Philips - Unsere Forschung in Deutschland / Hrsg.: Philips Forschungslaboratorium GmbH Aachen und Hamburg. 4 (1989)},
  pages     = {140 -- 143},
  year      = {1989},
  language  = {de}
}