@article{KloockPoghossianSchumacheretal.2006, author = {Kloock, Joachim P. and Poghossian, Arshak and Schumacher, K. and Rosenkranz, C. and Schultze, J. W. and M{\"u}ller-Veggian, Mattea and Sch{\"o}ning, Michael Josef}, title = {Funktionspr{\"u}fung und Charakterisierung von ionensensitiven Feldeffekttransistoren (ISFETs) auf Waferebene mittels Mikrotropfenzelle f{\"u}r den zuk{\"u}nftigen Einsatz in der Sensorproduktion}, series = {Sensoren und Messsysteme 2006 : Vortr{\"a}ge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14. M{\"a}rz 2006 in Freiburg/Breisgau / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA). Wiss. Tagungsleitung: L. M. Reindl}, journal = {Sensoren und Messsysteme 2006 : Vortr{\"a}ge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14. M{\"a}rz 2006 in Freiburg/Breisgau / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA). Wiss. Tagungsleitung: L. M. Reindl}, publisher = {VDE-Verl.}, address = {Berlin}, isbn = {3-8007-2939-3}, pages = {257 -- 260}, year = {2006}, language = {de} }