@article{SchoeningThustSteffenetal.1998,
  author    = {Sch{\"o}ning, Michael Josef and Thust, M. and Steffen, A. and M{\"u}ller-Veggian, Mattea},
  title     = {Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik f{\"u}r die Prozeß{\"u}berwachung},
  series = {ITG-Fachbericht. 148 (1998)},
  journal   = {ITG-Fachbericht. 148 (1998)},
  isbn      = {0341-0196},
  pages     = {257 -- 263},
  year      = {1998},
  language  = {de}
}
@article{SchoeningSteffenSankeetal.1995,
  author    = {Sch{\"o}ning, Michael Josef and Steffen, A. and Sanke, M. S. and M{\"u}ller-Veggian, Mattea},
  title     = {Kapazitiver Silizium-Sensor als Ph-Transducer f{\"u}r Biosensoranwendungen},
  series = {13. Jahrestagung der Biotechnologen : Wiesbaden 30.05. - 01.06.1995 / Deutsche Gesellschaft f{\"u}r Chemisches Apparatewesen, Chemische Technik und Biotechnologie e.V., Frankfurt am Main. - Bd. 1},
  journal   = {13. Jahrestagung der Biotechnologen : Wiesbaden 30.05. - 01.06.1995 / Deutsche Gesellschaft f{\"u}r Chemisches Apparatewesen, Chemische Technik und Biotechnologie e.V., Frankfurt am Main. - Bd. 1},
  publisher = {DECHEMA},
  address   = {Frankfurt am Main},
  pages     = {65 -- 66},
  year      = {1995},
  language  = {de}
}