@article{SchoeningThustSteffenetal.1998,
  author    = {Sch{\"o}ning, Michael Josef and Thust, M. and Steffen, A. and M{\"u}ller-Veggian, Mattea},
  title     = {Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik f{\"u}r die Prozeß{\"u}berwachung},
  series = {ITG-Fachbericht. 148 (1998)},
  journal   = {ITG-Fachbericht. 148 (1998)},
  isbn      = {0341-0196},
  pages     = {257 -- 263},
  year      = {1998},
  language  = {de}
}
@article{SchoeningThustSteffenetal.1996,
  author    = {Sch{\"o}ning, Michael Josef and Thust, M. and Steffen, A. and Kordos, P. and L{\"u}th, H. and Kauffmann, F. and Hoffmann, B.},
  title     = {Halbleiter-Biosensoren f{\"u}r den Penicillin-Nachweis in w{\"a}ßrigen L{\"o}sungen},
  series = {Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. M{\"a}rz 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.},
  journal   = {Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. M{\"a}rz 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.},
  publisher = {VDI-Verl.},
  address   = {D{\"u}sseldorf},
  isbn      = {3-18-091255-3},
  pages     = {143 -- 148},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}